HORIBA质量流量计是一种精确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。它主要是用来测量介质的质量流量及总量、密度，同时，它还可以测量体积流量及总量、介质温度、含水率、酒精的酒精度、混合较均匀的两种液体的浓度、工艺流程中的原料配比等。
体积流量：也叫工况流量，即单位时间内实时温度和压力下流体流过管道横截面的体积。小流量的代表单位一般为：ml/min和L/min。
标况流量：通过温度、压力补偿后得到的体积流量。标况一般定义（1）压力：1个大气压（101.325KPa）（2）温度：0℃/15℃/20℃/25℃，具体温度定义可自选。易度流量控制器默认(25℃,101.325KPa)，单位一般为：SCCM和SLPM。
质量流量：单位时间内流体流过管道横截面的质量。易度质量流量控制器测量出的是标况流量，需要计算气体实际质量时，可用密度乘以标况流量即可得出。
瞬时流量：当时间很短时，流体流过一定截面的量称为瞬时流量。
累计流量：气体通过某一截面的瞬时流量在一定时间内的累积值。
设定流量：质量流量控制器专用术语，MFC通过控制比例调节阀的开度使得流体流量稳定在某一固定流量值，设定流量一般为标况流量。
