HORIBA S48-32/HMT气体质量流量控制器 质量流量计

编号

项目

S48 32/HMT

1

流量规格

(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min
(1,2,3,5,10,20,30,50)L/min

2

调节阀类型

电磁调节阀

3

调节阀静止状态

常闭

4

安装角度

任意

5

流量控制范围

2%～

6

流量测量范围

0～

7

响应时间

2s（T98，设定值的±2% F.S.）

8

工作环境温度

5℃～50℃

9

精度保证温度

15℃～35℃

10

精度

±1.0%F.S.

11

线性精度

±0.5%F.S.

12

重复性

±0.2%F.S.

13

工作压差

～5L/min (50～300)kPa(D)
5L/min～10L/min (100～300)kPa(D) 
30L/min～50L/min (150～300)kPa(D)

14

耐压

3MPa

15

泄漏率

1×10-8 Pa•m3/s （He）

16

接触气体材料

316L,PTFE,Viton氟橡胶

17

管路接头

Swagelok:1/4″Φ6 Φ10 VCR:1/4″3/8″

18

供电电源

±15VDC(±5%)  +15V＜100mA,-15V＜150mA

+24VDC(宽电压+11～+25V),
＜250mA(+24Vdc供电时)

19

设定信号

(0～5)VDC 输入阻抗＞1MΩ

4～20mA；（可定制：1～5V或0～5V）

20

流量输出信号

(0～5)VDC 负载能力≤3mA

21

电气接头

D-SUB15,D-SUB9

22

重量(kg)

0.9